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一維壓電平移臺【X】

• 1軸行程≤60μm
• 1軸行程≤150μm
• 1軸行程≤300μm
• 1軸行程≤500μm
• 1軸行程≤1000μm
• 1軸行程≤2000μm

一維壓電升降臺【Z】

• Z軸行程≤60μm
• Z軸行程≤150μm
• Z軸行程≤300μm
• Z軸行程≤500μm
• Z軸行程≤1000μm

一維壓電旋轉(zhuǎn)臺【θz】

• 1軸行程≤1mrad
• 1軸行程≤3mrad
• 1軸行程≤6mrad
• 1軸行程≤10mrad

二維壓電平移臺【XY】

• 2軸行程≤50μm
• 2軸行程≤150μm
• 2軸行程≤300μm
• 2軸行程≤500μm
• 2軸行程≤1000μm
• 2軸行程≤2000μm

二維壓電位移臺【XZ】

• XZ行程≤50μm
• XZ行程≤150μm
• XZ行程≤300μm
• XZ行程≤500μm

二維壓電偏擺臺【θxθy】

• 2軸行程≤5mrad
• 2軸行程≤10mrad
• 2軸行程≤15mrad
• 2軸行程≤25mrad
• 2軸行程≤50mrad
• 2軸行程≤100mrad

三維壓電位移臺【XYZ】

• 3軸行程≤50μm
• 3軸行程≤150μm
• 3軸行程≤300μm
• 3軸行程≤500μm

三維壓電偏擺臺【Zθxθy】

• 3軸行程≤150μm/≤3mrad
• 3軸行程≤300μm/≤6mrad
• 3軸行程≤500μm/≤12mrad
• 3軸行程≤20μm/≤4mrad
• 3軸行程≤40μm/≤8mrad
• 3軸行程≤80μm/≤16mrad

三維壓電納米臺【XYθz】

• 3軸行程≤150μm/1mrad
• 3軸行程≤300μm2mrad
• 3軸行程≤500μm3mrad

六維壓電位移臺【XYZθxθyθz】

• 6軸行程≤150μm/≤3mrad
• 6軸行程≤300μm/≤6mrad
• 6軸行程≤500μm/≤10mrad

壓電陶瓷元件

• 壓電陶瓷片
• 壓電纖維片
• 疊堆壓電陶瓷

壓電陶瓷促動器

• 直驅(qū)型壓電促動器
• 放大型壓電促動器
• 專用型壓電促動器

壓電快速偏擺鏡

壓電物鏡定位器

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模塊化壓電控制器

集成式壓電控制器

顯微與成像領(lǐng)域

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超精密加工（金屬、光學(xué)、激光切割…）領(lǐng)域

半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域

納米技術(shù)、納米制造與納米自動化領(lǐng)域

數(shù)據(jù)存儲技術(shù)領(lǐng)域

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