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壓電平移臺【一軸X】

• X軸行程≤60μm
• X軸行程≤150μm
• X軸行程≤300μm
• X軸行程≤500μm
• X軸行程≤1000μm
• X軸行程≤2000μm

壓電升降臺【一軸Z】

• Z軸行程≤60μm
• Z軸行程≤150μm
• Z軸行程≤300μm
• Z軸行程≤500μm
• Z軸行程≤1000μm

壓電旋轉(zhuǎn)臺【一軸θz】

• θz軸行程≤1mrad
• θz軸行程≤3mrad
• θz軸行程≤6mrad
• θz軸行程≤10mrad

壓電平移臺【二軸XY】

• XY軸行程≤50μm
• XY軸行程≤150μm
• XY軸行程≤300μm
• XY軸行程≤500μm
• XY軸行程≤1000μm
• XY軸行程≤2000μm

壓電位移臺【二軸XZ】

• XZ行程≤50μm
• XZ行程≤150μm
• XZ行程≤300μm
• XZ行程≤500μm

壓電偏擺臺【二軸θxθy】

• θxθy軸行程≤5mrad
• θxθy軸行程≤10mrad
• θxθy軸行程≤15mrad
• θxθy軸行程≤25mrad
• θxθy軸行程≤50mrad
• θxθy軸行程≤100mrad

壓電位移臺【三軸XYZ】

• XYZ軸行程≤50μm
• XYZ軸行程≤150μm
• XYZ軸行程≤300μm
• XYZ軸行程≤500μm

壓電偏擺臺【三軸Zθxθy】

• Zθxθy軸行程≤150μm3mrad
• Zθxθy軸行程≤300μm6mrad
• Zθxθy軸行程≤500μm12mrad
• Zθxθy軸行程≤20μm4mrad
• Zθxθy軸行程≤40μm8mrad
• Zθxθy軸行程≤80μm16mrad

壓電位移臺【三軸XYθz】

• XYθz軸行程≤150μm1mrad
• XYθz軸行程≤300μm2mrad
• XYθz軸行程≤500μm3mrad

壓電平臺【六軸XYZθxθyθz】

• 6軸行程≤150μm3mrad
• 6軸行程≤300μm6mrad
• 6軸行程≤500μm10mrad

壓電陶瓷元件

• 壓電陶瓷片
• 壓電纖維片
• 疊堆壓電陶瓷

壓電促動器

• 直驅(qū)型壓電促動器
• 放大型壓電促動器
• 專用型壓電促動器

壓電偏擺鏡

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模塊化壓電控制器

集成式壓電控制器

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超精密加工（金屬、光學(xué)、激光切割…）領(lǐng)域

半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域

納米技術(shù)、納米制造與納米自動化領(lǐng)域

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